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鼎碳石墨 TRIPOD CARBON
鼎碳石墨
TRIPOD CARBON
行业应用 2026-06-29 · 阅读 3

半导体行业用哪些石墨件?扩散、外延、封装全盘点

从扩散、外延到封装、扩散焊接,半导体制造大量使用高纯石墨件。本文盘点半导体行业常见石墨件及其要求。

半导体行业用哪些石墨件?扩散、外延、封装全盘点

半导体为什么离不开石墨

半导体工艺高温、高洁净、高精度,高纯各向同性石墨在导热、耐高温、可精密加工与低污染方面几乎不可替代。

常见半导体石墨件

关键要求

  1. 高纯低灰分(<20ppm 甚至更低)
  2. ±0.01mm 精密型腔/孔位
  3. 低掉粉——可配抗氧化涂层

完整方案见半导体石墨解决方案,或来图定制

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