高纯低污染的半导体封装石墨治具、载具与扩散焊接治具。
半导体封装、扩散焊接与热处理工艺对石墨件的纯度、尺寸精度与热场均匀性要求极高。鼎碳提供高纯、各向同性、低污染的封装定位治具、芯片内框、晶圆载具与扩散焊接治具,配合自动化产线稳定量产。
我们从 UG 三维设计到 CNC 五轴精密加工全流程自有,多孔阵列与复杂型腔精度可达 ±0.01mm,并可按需为石墨件加做高温抗氧化涂层,延长使用寿命、减少掉粉污染。
网格型腔载具,用于晶圆 / 元件承载与热处理,受热均匀、高纯抗氧化。
封装定位、扩散焊接用精密治具,窗口精准、适配自动化产线。
半导体封装用多腔精密治具,多孔阵列、定位精准,CNC 五轴加工成型。