高温抗氧化石墨 · 工作温度 1400℃–2300℃ · 自研石墨涂层 · 设计·加工·检测一体化
鼎碳石墨 TRIPOD CARBON
鼎碳石墨
TRIPOD CARBON
半导体封装石墨载具
半导体石墨

半导体封装石墨载具

网格型腔载具,用于晶圆 / 元件承载与热处理,受热均匀、高纯抗氧化。

参数高纯石墨
参数各向同性
参数可来图定制型腔

产品简介

半导体封装石墨载具采用高纯、各向同性石墨,用于晶圆与元件的承载、扩散与热处理工序。网格型腔设计受热均匀,配合自动化产线稳定量产。

技术特点

  • 高纯、低灰分、低污染,保护器件洁净
  • 各向同性石墨,热膨胀均匀、抗热震
  • 型腔可来图定制,适配不同封装尺寸
  • 可加做高温抗氧化涂层,延长寿命

适用工艺

半导体封装、扩散焊接、真空热处理等。可寄样为载具加做 800℃ / 1500℃ 高温抗氧化涂层。

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