半导体 CVD / PVD 设备用石墨件

CVD/PVD 设备里的石墨件

半导体 CVD(化学气相沉积)、PVD(物理气相沉积)设备中，石墨用于多种部件：

• 基座/承载盘(Susceptor)：承载晶圆、导热
• 加热器：发热控温
• 屏蔽/结构件：约束热场/气流

关键要求

1. 超高纯、低污染（半导体级）
2. 耐腐蚀/反应气氛（常配抗蚀/抗氧化涂层）
3. 精密尺寸、受热均匀

CVD/PVD 设备石墨件可来图定制。相关：半导体离子注入/刻蚀件、半导体石墨件总览。适配半导体应用。