外延 / MOCVD 石墨基座(Susceptor)与托盘

什么是石墨基座(Susceptor)

在 GaN/SiC 外延、MOCVD、LED 芯片制造中，石墨基座(Susceptor) 用于承载晶圆并通过感应/电阻加热传导热量，要求高纯、热场均匀、尺寸精准。

为什么表面要做涂层

外延环境常有腐蚀性/反应性气体，基座表面通常做 SiC 等抗蚀/抗氧化涂层保护石墨、防止污染晶圆——这与鼎碳的高温抗氧化涂层思路一致。

关键要求

1. 超高纯、低污染
2. 晶圆袋(pocket)精密加工、±0.01mm
3. 热场均匀、批次一致

晶圆袋/托盘可来图定制，并按需做涂层。相关：半导体石墨件盘点。