行业应用
2026-01-03
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半导体 CVD 石墨件的高纯与低放气：热解碳涂层的价值
半导体 CVD/外延设备里的石墨件对纯度、放气与颗粒要求苛刻。热解碳涂层如何满足半导体级洁净度？
半导体 CVD/外延设备里的石墨件对纯度、放气与颗粒要求苛刻。热解碳涂层如何满足半导体级洁净度？
半导体 CVD、外延、离子注入等工艺在高真空、高洁净环境进行，石墨件的金属杂质、放气、掉粉都可能直接影响器件良率。
半导体真空 / 惰性工况用热解碳涂层；若是有氧高温则用抗氧化涂层。二者区别见此。
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