MOCVD 石墨基座为什么要做热解碳涂层

MOCVD 基座是什么

MOCVD（金属有机化学气相沉积）是 LED、GaN、化合物半导体外延的核心工艺，石墨**基座 / 承载盘（susceptor）**承载晶圆、传热并保证外延均匀。

为什么要做热解碳涂层

• 高纯低污染：外延对杂质极敏感，热解碳层提纯封孔、隔离基体杂质
• 抗反应气氛侵蚀：MOCVD 气氛具腐蚀性，碳层保护基体
• 减少掉粉：颗粒会造成外延缺陷，光滑碳层减少起尘
• 热场稳定：致密表面利于均匀传热、稳定膜厚

收益

提升外延良率与一致性、延长基座寿命、降低维护频次。

鼎碳能做什么

高纯各向同性石墨基座 / 承载盘 + CVD 热解碳涂层，服务 LED / 蓝宝石行业。来图 / 来件咨询。