热解碳涂层件 · CVD 来件代涂

产品简介

热解碳（Pyrolytic Carbon，PyC）涂层采用化学气相沉积（CVD），在石墨表面生成一层致密、高纯的热解碳，封闭表层气孔、提升纯度、抗侵蚀并减少掉粉起尘。支持来件代涂——寄样即可为您的石墨件做热解碳涂层加工。

与抗氧化涂层的区别

热解碳涂层与 800℃ / 1500℃ 高温抗氧化涂层定位不同：抗氧化涂层用于隔绝空气中的氧气、防止有氧高温氧化烧蚀；热解碳涂层主要用于封孔、提纯、抗侵蚀、减少掉粉，面向真空 / 惰性 / 还原气氛下的高纯工况。

核心优势

• 致密封孔，气体不易渗透，表面光滑
• 高纯、低放气，半导体 / LED 外延级洁净度
• 抗侵蚀耐腐蚀，抵御反应性气氛与熔体
• 减少掉粉起尘，颗粒污染显著降低

典型应用

MOCVD / 半导体 CVD 基座与承载盘、LED 外延、单晶及晶体生长热场、高纯石墨坩埚与加热器，也可作为 SiC / TaC 涂层的打底碳层。详见石墨涂层专区。