哪些石墨件适合做热解碳涂层？选型与来件代涂

适合做热解碳涂层的场景

• 半导体 CVD / 外延：需高纯低放气、低颗粒
• MOCVD 基座 / 承载盘：LED / 化合物半导体外延
• 单晶 / 蓝宝石生长 热场件、坩埚
• 高纯坩埚、加热器：真空 / 惰性气氛
• SiC / TaC 涂层打底碳层

不一定需要的场景

• 有氧高温防氧化 → 用抗氧化涂层
• 普通结构件、非高纯工况

来件代涂流程

1. 沟通工况（气氛、温度、洁净度要求、数量）
2. 寄样
3. CVD 沉积热解碳涂层
4. 检验、寄回

把石墨件与需求发我们评估，或看热解碳涂层产品页。