CVD 热解碳涂层是怎么做的？沉积工艺流程解析

CVD 热解碳成膜原理

把石墨件放入沉积炉，通入碳氢气体（如甲烷、丙烷等），在高温、控压条件下裂解，碳原子在石墨表面逐层沉积、生长成致密的热解碳层。

工艺流程

1. 基材前处理：清洁去尘、去除杂质，保证结合质量。
2. 升温抽真空 / 通气：达到沉积温度与压力，通入碳源气体。
3. 气相沉积成膜：碳氢裂解沉积，逐步形成致密热解碳层，控制厚度均匀。
4. 冷却出炉：受控降温，避免热应力。
5. 检验交付：外观、厚度、致密性检查后交付 / 寄回。

影响质量的关键参数

• 温度 / 压力 / 气流：决定沉积速率与致密度
• 气体成分：影响纯度与结构
• 时间：决定涂层厚度

结果

均匀致密、附着良好的热解碳层，实现封孔提纯。想做热解碳涂层的石墨件可寄样代涂或联系我们。