高纯石墨怎么提纯？高温卤化纯化工艺科普

为什么要提纯

普通石墨含有铁、硅、钙等金属杂质（灰分），在半导体、光伏、单晶等工艺中会污染产品、影响良率。提纯就是把这些杂质降到极低。

高温卤化提纯原理

在约 2000–2800℃ 高温下通入卤素气体（如氯气/氟利昂等），使金属杂质生成易挥发的卤化物排出，从而把灰分降到 <20ppm、甚至 <10ppm、<5ppm。

纯度等级与应用

• <20ppm 高纯：半导体、光伏常用
• <10ppm / <5ppm 超高纯：更严苛的单晶、外延

详见高纯石墨纯度等级。半导体封装载具、焊接治具多用高纯石墨。选材可联系我们。