高纯石墨是什么？灰分/纯度等级与半导体应用

什么是高纯石墨

高纯石墨是经过高温卤化等纯化处理、把金属杂质（灰分）降到极低水平的石墨。灰分越低，对被加工器件/材料的污染越小。

纯度等级（灰分参考）

• 普通石墨：灰分 > 300ppm
• 中纯：约 50–300ppm
• 高纯：< 20ppm，常见 <10ppm、<5ppm

为什么半导体/光伏要用高纯石墨

半导体扩散、外延、单晶生长等工艺对金属离子污染极度敏感，微量杂质就可能影响器件性能与良率。因此半导体封装石墨载具、芯片焊接治具等普遍采用高纯、各向同性石墨。

洁净度再加一层保险

高纯石墨件配合高温抗氧化涂层可进一步减少高温掉粉、保持工件与炉膛洁净。选型可联系我们。