SiC 外延用 TaC 涂层石墨基座：为什么要碳化钽

SiC 外延的严苛工况

SiC 外延在高温、强腐蚀性气氛下进行，石墨基座若无保护会被快速侵蚀、污染外延层。

TaC 涂层的作用

碳化钽（TaC）涂层耐超高温、抗 SiC 外延气氛侵蚀、纯度高，是高端 SiC 外延基座的表面方案。

热解碳打底

通常先在石墨上做一层热解碳打底封孔提纯，再上 TaC，附着更好、更致密。

与热解碳涂层的关系

• 一般高纯 CVD 工况：热解碳涂层即可
• SiC 外延极端工况：TaC 涂层（热解碳打底）
• 对比见 TaC/SiC vs 热解碳

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