LED 外延用石墨基座与承载盘怎么选

选型要看什么

1. 纯度：外延对杂质极敏感，选高纯石墨 + 热解碳涂层
2. 各向同性：热膨胀均匀、热场稳定
3. 热传导 / 均温：保证外延膜厚均匀
4. 加工精度：晶圆袋孔位、平面度
5. 抗侵蚀：耐 MOCVD 气氛

涂层是关键

MOCVD 基座为什么做热解碳涂层：封孔提纯、减少掉粉、抗侵蚀、延长寿命。

常见误区

• 只看基体不看涂层 → 洁净度上不去
• 忽视各向同性 → 热场不稳

鼎碳方案

高纯各向同性石墨基座 + CVD 热解碳涂层，服务 LED / 蓝宝石行业。来图 / 来件咨询。