石墨的放气(outgassing)是什么？真空高纯工况为什么在意

什么是放气

石墨多孔、比表面积大，会吸附水分、气体与杂质。在真空、高温下这些吸附物释放出来，就是放气（outgassing）。

放气的危害

• 破坏真空度、延长抽气时间
• 污染工艺气氛与工件（半导体 / 外延尤其敏感）
• 引入杂质、影响良率

怎么降低放气

1. 选高纯、高致密石墨（气孔率低）
2. 做 CVD 热解碳涂层封孔、降低吸附
3. 使用前高温烘烤除气（bake-out）
4. 规范清洗与存放

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