多层叠装工装,一次装载多件、提升烧结产能,结构稳定可靠。
多层石墨工装夹具通过多层叠装一次装载多件,显著提升烧结产能,结构稳定可靠。
批量烧结、热处理。
热压 / 扩散焊接用承烧石墨板,平面度高、导热优良、批次一致。
网格型腔载具,用于晶圆 / 元件承载与热处理,受热均匀、高纯抗氧化。
封装定位、扩散焊接用精密治具,窗口精准、适配自动化产线。