真空镀膜 / 蒸发用石墨舟与坩埚

蒸发源里的石墨件

真空镀膜（蒸发/电子束蒸发）中，部分蒸发材料用石墨坩埚/舟作蒸发源容器：

• 耐高温、导热好
• 与部分蒸发材料不反应
• 可加工精密内腔

关键要求

1. 高纯、低放气（见真空放气）
2. 与蒸发材料相容（不反应/不污染）
3. 内腔精度与光洁

注：热蒸发常用钨钼舟，石墨主要用于电子束蒸发及与之相容的材料，需按镀膜材料确认。

蒸发用石墨坩埚/舟可来图定制。相关：真空炉石墨部件。