石墨的真空放气(outgassing)与除气

什么是放气

石墨有气孔，会吸附水分和气体。进真空或升温时，这些气体释放出来，称为放气(outgassing)，会：

• 拉低真空度、延长抽气时间
• 高温阶段污染工艺气氛/工件

怎么减少放气

1. 首次使用前烘烤除气：真空/惰性下缓慢升温放气
2. 干燥存放、避免吸潮（见存放防潮）
3. 高密度低气孔牌材放气更少
4. 避免随意水洗

高纯场景更重要

半导体/光伏等对气氛敏感，务必规范除气。工艺问题可咨询我们。