单晶炉石墨热场件的高纯与涂层保护

单晶炉石墨热场

直拉法（CZ）单晶炉的石墨坩埚、加热器、导流筒、保温筒等组成热场，长期在 1400℃ 以上工作。

高纯为什么重要

杂质会污染硅熔体、影响单晶质量，热场件需高纯、低灰分。

涂层怎么选

• 真空 / 惰性高纯工况 → 热解碳涂层封孔提纯
• 易氧化部位 / 有氧工况 → 抗氧化涂层防氧化
• 二者区别见此

延寿收益

减少氧化 / 侵蚀损耗、降低更换与停机、保持洁净。

鼎碳方案

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