太阳能电池 PECVD 镀膜石墨舟解析

PECVD 石墨舟的作用

太阳能电池在 PECVD 炉中镀 SiNx 减反射膜时，石墨舟既承载硅片、又兼作放电电极，是工艺核心工装：

• 高纯、低污染（影响镀膜与电池效率）
• 精密片槽、定位准、装片多
• 导电稳定、受热均匀

关键要求

1. 片槽精度与一致性
2. 高温 + 反应气氛下耐损耗（涂层保护，注意导电面处理）
3. 洁净、低掉粉

PECVD 石墨舟可来图/来样定制，参考PECVD 石墨舟方案。适配光伏行业。