太阳能电池 PECVD 镀膜石墨舟方案

痛点

太阳能电池 PECVD 镀膜（SiNx 减反射）：

• 石墨舟兼作电极，导电与片槽精度要求高
• 高温 + 反应气氛，石墨舟易损耗
• 片槽污染影响镀膜与电池效率

方案

1. 高纯石墨 PECVD 镀膜舟，精密片槽±0.01mm
2. 表面涂层保护、减少损耗与掉粉（注意涂层对导电的影响，导电面按需处理）
3. 来图/来样定制

收益

• 镀膜均匀、电池效率与良率稳
• 石墨舟寿命延长

详见PECVD 镀膜石墨舟解析。适配光伏行业。