选型指南
2026-05-10
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石墨舟 vs 石英舟怎么选？半导体/烧结场景对比
半导体扩散、烧结常在石墨舟与石英舟间选择。本文对比两者耐温、纯度、抗热震、导电等差异，给出选型建议。
半导体扩散、烧结常在石墨舟与石英舟间选择。本文对比两者耐温、纯度、抗热震、导电等差异，给出选型建议。
| 维度 | 石墨舟 | 石英舟 |
|---|---|---|
| 耐温 | 很高(真空/惰性) | 约 1200–1300℃ 软化 |
| 抗热震 | 优、抗急冷急热 | 脆、怕骤冷骤热 |
| 导电导热 | 导电导热 | 绝缘、透明 |
| 纯度 | 可高纯 | 高纯 |
| 空气抗氧化 | 需涂层 | 抗氧化好 |
| 加工/装载 | 密集孔阵/大装载易做 | 加工受限 |
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