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2026-02-27
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单晶硅 CZ 导流筒与保温屏(热屏)解析
直拉单晶硅炉的导流筒、保温屏(热屏)是控制热场与气流的关键石墨/碳件。本文解析其作用与要求。
直拉单晶硅炉的导流筒、保温屏(热屏)是控制热场与气流的关键石墨/碳件。本文解析其作用与要求。
直拉单晶硅(CZ)炉里，除坩埚、加热器外，导流筒和**保温屏(热屏)**同样关键：
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